SJT 31096-1994 精密硅片磨床完好要求和检查评定方法
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ID： |
0AEE186C768C491C805F9144A670CA32 |
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文件大小(MB)： |
0.3 |
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4 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 31096-94,精密硅片磨床完好要求和检查评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了精密硅,片磨床的完好要求与检查、评定方法,本标准适用于CM73- I型精密硅片磨床。其它类型的硅片磨床也可参照本标准执行,2完好要求,2.1 精度,精密硅片磨床几何精度完好要求和检测方法见表10,精密硅片磨床工作精度完好要求和检测方法见表2,表1精密硅片磨床几何精度完好要求和检测方法,序号检测项目,允差mm,完好标准,检测工具和检测方法图 示,Gr,磨头主轴的轴,端摆动,A<0. 005,B<0. 008,固定指示器,使其测头分,别垂直触及主轴锥面的两,极限位置,旋轴主轴检测,误差分别计算误差从指,示器读数的最大差值计,I,V旱/,G2*,磨头主轴的轴,向窜动,CO. 002 固定指示器,使其测头触,及主轴中心孔内的钢球表,面旋转主轴检测机床的每,个磨头都应检测,误差以指示器读数的最,大差值计,T,G3*,工作台轴向窜,动,<0. 002 固定指示器,使其恻头触,及工作台面轴心处旋转エ,作台检测,误差以指示器读数的最,大差值计,匚,5,-------------- 1,3,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准,一 I 一,1994-06-01 实施,下载,SJ/T 31096-94,续表1,序号检测项目,允差mm,完好标准,检测工具和检测方法图示,G4,工作台的振摆く〇, 005,),],G5,磨头垂直进给,座标重复性误,差,＜士0. 001,L,i F,J,卩帛,磨头箱燕尾与,工作台平行度,50 ： 0. 007,G6 2」里,G7*,磨头主轴与エ,作台平面垂直,度允差,く ± 0. 008,鉅,-,*,コ心,2,SJ/T 31096-94,表2精密硅片磨床工作精度完好要求和检测方法,序号检测项目,允差mm,检测工具和检测方法图 示,完好标准,PJ,工件的平面度,("5mm),<0. 004 用平板,千分表检测,巳丒,工件的平行度,(夕75mm),<0. 007 用外径千分尺检测,注:表1、表2中标有丒号为主要项目,其余为次要项目,2.2 操作系统,2. 2-1各操作变速手柄、开关按扭启动灵活,定位可靠,标志明显,2. 2-2制动、限位装置齐全、灵敏可靠,2.3 传动系统,2. 3-1设备运转平稳、无冲动、无振动,2. 3.2变速机构变速齐全,各级速度运转正常,2. 3-3工作台运行灵活、可靠,2.4 润滑系统,2.4.1 润滑系统各装置完整无损,管路齐全,油路畅通,2.4.2 油位标志醒目,油窗明亮,油位清晰到位,2-4-3润滑油不得渗漏到面或渗入配电箱内及皮带上,2-5冷却系统,2. 5.1冷却系统装置齐全,水路畅通,2-5-2冷却系统不能有直线状的漏液流,2- 5.3冷却液不变质,无腐臭味,2. 5-4冷却泵工作状态良好,过滤网无堵塞,2.6电气系统,2.6.1 电气性能良好,运行可靠,保护装置齐全、有效。仪表指示明显、正确,3,sj/t 31096-94,2.6- 2线路完整,绝缘层无破裂,无漏电现象,2.6.3各种线路标注明显,联接可靠,2.6- 4各种开关动作灵敏,自动保护装置及报警装置齐全、安全可靠、工作灵敏可靠,2.Z微机控制系统,2. 7.1各开关、按钮、操作键完整无损,动作灵敏、可靠,控制装置各组成部分保持完整、功能,齐全,性能稳定、工作状态良好,显示清晰,2. 7-2显示器能正常显示通电自检的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常,2. 7-3输入/输出程序正确无误,2.7.4打印机、穿孔机与主机接口良好,工作正常,2-7-5装置内部清洁,布线整齐,线路无老化破裂,各线路标注齐全、正确,2. 7-6所有裸露导体件（包括外壳）;必须与保护接地端子与微控制系统任何裸露导体件和整,机外壳之间的电阻不得大于0.10,2.8安全防护,2 . 8.1安全防护装置齐全、可靠,2 .8.2接地（零）可靠,标注明显,3检查、评定方法,3.1 检查方法,3.1.1 标准中绝缘层无破裂、无漏电现象用兆欧表检测,3.1.2 标准中接地可靠用万用表检测、标注明显用目测,3.1- 3标准中其余项目由开机操作检测,3.2评定方法,3. 2-1标准中除2.!中各项指标外,各系统完好要求中,2. 6.1,2. 6. 4,2. 7. 1、2. 8为主要项,目,其余为次要项目,3.2- 2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2- 3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由上海市仪表电讯エ业局组织起草,本标准主要起草人:王秋霞,——4……
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